超凈環(huán)境控制
設(shè)備內(nèi)部殘留的化學(xué)氣體、微粒污染可能引發(fā)晶圓缺陷。搬運過程中需維持ISO 3級潔凈度，相當(dāng)于手術(shù)室環(huán)境的100倍潔凈標(biāo)準。

復(fù)雜裝卸工藝
大型設(shè)備如等離子刻蝕機重量可達數(shù)十噸，且需在狹小潔凈室內(nèi)完成垂直吊裝，對吊具精度與操作空間管理提出極高要求。

1. 定制化氣墊運輸系統(tǒng)
自主研發(fā)的智能氣墊車組采用多氣囊獨立控制技術(shù)，可實現(xiàn)：

振動衰減：通過氣壓動態(tài)平衡，將路面震動過濾至0.05g以內(nèi)；

精準定位：搭載激光導(dǎo)航與毫米波雷達，重復(fù)定位精度達±2mm；

環(huán)境隔離：全封閉式艙體配備HEPA過濾系統(tǒng)，維持艙內(nèi)正壓防止外部污染侵入。

2. 模塊化潔凈搬運方案
針對不同場景設(shè)計三級防護體系：

一級防護：設(shè)備表面覆蓋抗靜電PE膜，接口處使用氣密性封條；

二級防護：整體裝入充氮氣密箱，內(nèi)置濕度傳感器與氧氣吸附劑；

三級防護：在潔凈室內(nèi)搭建臨時潔凈棚，通過風(fēng)淋室與層流罩維持局部ISO 1級環(huán)境。

3. 專業(yè)裝卸工程能力
擁有ASME認證的吊裝團隊，配備：

蜘蛛吊：在3米層高下完成10噸級設(shè)備的360°旋轉(zhuǎn)就位；

液壓頂升平臺：實現(xiàn)設(shè)備在潔凈室內(nèi)的毫米級微調(diào)；

電磁吊具：通過電流控制吸附力，避免機械夾具對設(shè)備表面的損傷。

亞瑟獨創(chuàng)的“5D搬遷管理體系”，將服務(wù)延伸至客戶生產(chǎn)全周期：

預(yù)搬遷審計（Diagnostic）：運用工業(yè)CT掃描設(shè)備，提前發(fā)現(xiàn)潛在結(jié)構(gòu)隱患；

方案模擬（Design）：通過數(shù)字孿生技術(shù)，在虛擬環(huán)境中驗證吊裝路徑、運輸路線；

應(yīng)急預(yù)案（Defense）：針對暴雨、設(shè)備故障等突發(fā)場景制定72小時快速響應(yīng)機制；

過程監(jiān)控（Dynamic）：客戶可通過專屬APP實時查看設(shè)備位置、環(huán)境參數(shù)；

產(chǎn)能恢復(fù)（Delivery）：提供設(shè)備調(diào)試、精度校準等增值服務(wù)，將停機時間縮短60%。

作為本土領(lǐng)軍企業(yè)，亞瑟深度融入上海半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)布局：

政策協(xié)同：與自貿(mào)區(qū)、保稅區(qū)建立綠色通道，實現(xiàn)大型設(shè)備通關(guān)時間壓縮至48小時；

產(chǎn)業(yè)對接：與**國際、**集團等龍頭企業(yè)共建“設(shè)備搬遷技術(shù)標(biāo)準”；

應(yīng)急響應(yīng)：在浦東、臨港、松江設(shè)立三大服務(wù)中心，配備10臺應(yīng)急響應(yīng)車，2小時抵達現(xiàn)場。

在半導(dǎo)體設(shè)備搬運領(lǐng)域，亞瑟公司以技術(shù)為矛、服務(wù)為盾，將每一次搬運轉(zhuǎn)化為客戶價值的躍升。從單臺設(shè)備運輸?shù)秸麖S搬遷，從標(biāo)準服務(wù)到定制化解決方案，我們始終以“零失誤”為底線，以“超預(yù)期”為目標(biāo)，助力中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在遷移中實現(xiàn)產(chǎn)能升級。選擇亞瑟，即是選擇一個值得托付的產(chǎn)業(yè)遷移伙伴。