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2025-05-24  來(lái)自: 亞瑟半導(dǎo)體設(shè)備安裝(上海)有限公司 瀏覽次數(shù):20

在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)飛速發(fā)展的今天,每一臺(tái)光刻機(jī)、蝕刻機(jī)、離子注入機(jī)等精密設(shè)備的平穩(wěn)遷移,都直接關(guān)系到企業(yè)產(chǎn)能的連續(xù)性與技術(shù)迭代的效率。作為半導(dǎo)體設(shè)備搬運(yùn)領(lǐng)域的企業(yè),

亞瑟公司憑借20年技術(shù)沉淀與全流程服務(wù)能力

半導(dǎo)體設(shè)備對(duì)搬運(yùn)環(huán)境的要求堪稱苛刻:納米級(jí)精度的光刻機(jī)需避免0.01g的震動(dòng),價(jià)值數(shù)千萬(wàn)的薄膜沉積設(shè)備需全程恒溫恒濕。亞瑟公司“三維防護(hù)體系”,為每一臺(tái)設(shè)備量身定制遷移方案:

防震包裝黑科技
采用EPE珍珠棉+氣墊膜+實(shí)木框架的三層防護(hù)結(jié)構(gòu),配合真空吸附固定技術(shù),使設(shè)備在運(yùn)輸中承受的震動(dòng)值低于0.5G(遠(yuǎn)低于行業(yè)1G標(biāo)準(zhǔn))。在為某12英寸晶圓廠搬運(yùn)ASML光刻機(jī)時(shí),團(tuán)隊(duì)通過(guò)3D激光掃描建模,提前規(guī)劃出0.1毫米誤差范圍的運(yùn)輸路徑,確保設(shè)備安全抵達(dá)。

恒溫恒濕運(yùn)輸艙

配備獨(dú)立溫控廂式車,搭載溫濕度傳感器與新風(fēng)系統(tǒng),可實(shí)時(shí)將艙內(nèi)環(huán)境控制在23℃±1℃、濕度45%±5%的范圍內(nèi)。某次為存儲(chǔ)器廠商運(yùn)輸極紫外光刻膠時(shí),團(tuán)隊(duì)通過(guò)液氮制冷系統(tǒng),成功將車廂內(nèi)溫度波動(dòng)控制在±0.5℃以內(nèi)。

無(wú)塵搬運(yùn)車間


搬運(yùn)人員穿戴防靜電服、手套與口罩,在ISO 5級(jí)無(wú)塵車間完成設(shè)備拆裝。針對(duì)離子注入機(jī)等對(duì)靜電敏感的設(shè)備,采用離子風(fēng)機(jī)中和靜電,確保設(shè)備內(nèi)部電路毫發(fā)無(wú)損。

面對(duì)動(dòng)輒數(shù)十噸的半導(dǎo)體設(shè)備,亞瑟公司研發(fā)出液壓同步頂升技術(shù),通過(guò)8個(gè)液壓千斤頂?shù)暮撩准?jí)協(xié)同作業(yè),實(shí)現(xiàn)設(shè)備水平移動(dòng)誤差不超過(guò)2毫米。在為某功率半導(dǎo)體企業(yè)搬遷萬(wàn)級(jí)潔凈室內(nèi)的擴(kuò)散爐時(shí),團(tuán)隊(duì)采用氣墊搬運(yùn)車,將設(shè)備與地面的摩擦系數(shù)降低至0.001,如同“設(shè)備漂浮”般完成移位。

半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備如電子顯微鏡、X射線衍射儀等,對(duì)搬運(yùn)過(guò)程中的震動(dòng)、傾斜角度極為敏感。亞瑟公司配備三維沖擊記錄儀,可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)設(shè)備在運(yùn)輸中的加速度、傾斜角度與溫濕度變化。某次為科研院所搬運(yùn)球差校正透射電鏡時(shí),團(tuán)隊(duì)通過(guò)減震平臺(tái)與氣墊懸掛系統(tǒng),將設(shè)備受到的沖擊值控制在0.2G以內(nèi)。

亞瑟公司打破傳統(tǒng)搬運(yùn)公司“只管搬不管裝”的局限,提供“搬遷前-中-后”全流程服務(wù):

前期勘測(cè):使用測(cè)繪搬遷場(chǎng)地,識(shí)別潛在風(fēng)險(xiǎn)點(diǎn),制定應(yīng)急預(yù)案;

中期執(zhí)行:配備液壓升降平臺(tái)、氣墊搬運(yùn)車等設(shè)備

后期驗(yàn)收:提供設(shè)備精度校準(zhǔn)報(bào)告,承諾“搬遷后72小時(shí)應(yīng)急響應(yīng)”。

某次為封測(cè)企業(yè)搬遷整條封裝線時(shí),團(tuán)隊(duì)通過(guò)智能調(diào)度系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)設(shè)備拆卸、運(yùn)輸、安裝的無(wú)縫銜接,比計(jì)劃提前72小時(shí)完成搬遷,助力客戶產(chǎn)能快速恢復(fù)。

目前,亞瑟公司已在長(zhǎng)三角、珠三角、京津冀等半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)聚集區(qū)設(shè)立12個(gè)服務(wù)中心,配備運(yùn)輸車輛。通過(guò)智能調(diào)度系統(tǒng),可實(shí)現(xiàn):

同城搬遷:2小時(shí)上門(mén)勘測(cè),24小時(shí)完成小型項(xiàng)目;

跨省遷移:48小時(shí)制定方案,72小時(shí)車隊(duì)集結(jié);



在半導(dǎo)體設(shè)備搬運(yùn)這個(gè)看似“粗獷”的行業(yè)里,亞瑟公司用20年時(shí)間詮釋了何為“精細(xì)化作業(yè)”。從晶圓廠的無(wú)塵搬遷,到科研院所的精密儀器轉(zhuǎn)運(yùn),每一份信任都化作團(tuán)隊(duì)肩頭的責(zé)任。如果您正在尋找一家“把設(shè)備當(dāng)藝術(shù)品搬運(yùn)”的合作伙伴,歡迎致電亞瑟服務(wù)熱線,或訪問(wèn)官網(wǎng)獲取定制化解決方案您只需專注核心業(yè)務(wù)的發(fā)展。


運(yùn)營(yíng)項(xiàng)目

運(yùn)營(yíng)項(xiàng)目

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