半導(dǎo)體設(shè)備搬運移位定位氣墊車運輸?shù)膩喩獔蟮溃?a href="http://cyprofs.com/" style="letter-spacing: 1.5px; text-align: justify; margin: 0px; padding: 0px; color: rgb(123, 77, 54); text-decoration-line: none; font-family: 宋體; font-size: 14px; background-color: rgb(255, 255, 255);">半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運‍（Computer Integrated Manufacturing，計算機集成制造）的概念是由Joseph Harrington博士在其1974年發(fā)表的書中提出的，CIM是一種組織、管理與運行企業(yè)生產(chǎn)的工具。CIM通過創(chuàng)建自動化制造流程的能力，將人工參與度降低交由計算機來處理，加快制造速度，而且更不容易出錯，在半導(dǎo)體領(lǐng)域，CIM主要是部署在半導(dǎo)體晶圓制造以及半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運‍封測工廠內(nèi)部的生命級軟件系統(tǒng)，從信息的收集、分析、決策，到包括二次分析、大數(shù)據(jù)model的預(yù)測性分析、給出決策意見，都可由CIM系統(tǒng)完成。半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運‍而CIM系統(tǒng)又由數(shù)十種軟件系統(tǒng)組成，如制造執(zhí)行系統(tǒng)MES、設(shè)備自動化EAP、半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運‍制程控制APC、配方管理系統(tǒng)RMS、設(shè)備失效偵測與分類FDC、良率分析控制系統(tǒng)YMS、質(zhì)量管理系統(tǒng)QMS、設(shè)備保養(yǎng)系統(tǒng)PMS、工程運行控制系統(tǒng)FMC、遠程控制管理系統(tǒng)RCM、實時調(diào)度系統(tǒng)RTD、自動排產(chǎn)系統(tǒng)APS等。我們曾多次強調(diào)到，在整個CIM系統(tǒng)中，半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運‍。MES被喻為芯片制造的“大腦”，控制和管理芯片制造的全過程，通俗的來說，MES系統(tǒng)主要功能就是解決“如何生產(chǎn)”的問題但除了MES之外，被譽為“設(shè)備管理大師”的半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運‍也是晶圓廠中關(guān)鍵的系統(tǒng)之一。EAP系統(tǒng)是MES與設(shè)備的橋梁，它對生產(chǎn)線的機臺進行實時監(jiān)控，所有的生產(chǎn)數(shù)據(jù)和機臺營運狀態(tài)等都是通過EAP系統(tǒng)來收集，EAP將這些數(shù)據(jù)傳送給MES、AS等服務(wù)器對應(yīng)的數(shù)據(jù)庫，然后MES再對這些數(shù)據(jù)進行指揮控制。所以EAP也是工廠實現(xiàn)自動化必不可少的控制系統(tǒng)。半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運‍再就是，隨著晶圓日趨增大和關(guān)鍵尺寸的不斷縮小，晶圓來到12英寸，原來的統(tǒng)計制程控制（SPC）已經(jīng)不能適應(yīng)12寸量產(chǎn)線的質(zhì)量控制要求，半‍導(dǎo)‌體‍設(shè)‌備‍搬‌運‍成為不可或缺的關(guān)鍵系統(tǒng)。APC主要負責(zé)采集包括產(chǎn)品、工藝、設(shè)備、技術(shù)平臺等相關(guān)的歷史數(shù)據(jù)，實時調(diào)整生產(chǎn)工藝配方的參數(shù)，以達到控制制程質(zhì)量、提高產(chǎn)品良率的目的。